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    · （1）研磨速率：单位时间内晶圆表面材料被研磨的总量。（2）研磨均匀性：分为片内均匀性和片间均匀性。片内均匀性指某个晶圆研磨速率的标准方差和研磨速率的比值；片间均匀性用于表示不同圆片在同一条件下研磨速率的一致性。（3）缺陷量。

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